各種高純度ガス精製装置及び精製器、パラジウム膜水素ガス精製装置と「HEMS水素分析装置」

摘要

アップ·テック·ジヤパンはサエス·ゲッターズ·グループのサエス·ピュア·ガス社の精製装置、精製器の装置納入、保守サービスを中心とする事業会社である。今回は、次世代半導体SiC（炭化ケイ素）、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の高純度化·デバイスの高性能化に貢献するゲッター式の「モノトール~R超高純度ガス精製装置」及び、LED·OLED製品の高輝度化·長寿命化に貢献する「マイクロトール~Rガスフィルター（精製器）／ファシリトール~Rガスフィルター（精製器）」を実機展示する。さらに、パワー＆エナジー（P&E）社の水素ガス中の不純物を測定する「HEMS水素質量分析器」、サエス·ピュア·ガス社がP＆E社の技術を応用して開発·販売している「PE2100パラジウム膜水素ガス精製装置」など、サエス社の国内総代理店として各種装置をアピールする。