超高純度ガス精製装置「モノトール」メタン精製技術を初アピールインラインタイプ室温型超高純度ガス精製器「マイクロトール」など

摘要

アップ·テック·ジヤパンはサエスピエアガス杜の精製装置、精製器の装置納入、保守サービスを中心とする事業会社である。今回は、次世代半導体SiC（炭化ケイ素）、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の高純度化·デバイスの高性能化に貢献するゲッター式の「モノトール超高純度ガス精製装置」及び、LED·OLED製品の高輝度化·長寿命化に貢献する「ファシリトールガス精製器ノマイクロトールガス精製器」を実機展示する。