山武デジタルMFCをコーティング分野向けに拡販

摘要

山武アドバンスオートメーションカンパニーは、世界最高速の300msの超高速応答と制御高精度を特徴とし、成膜装置やプラズマクリーナーの計装向けに実績を伸ばしている、デジタルマスフローコントローラ「CMQ－Vシリーズ」について、成膜対象アプリケーションの拡大に力を入れている。 対象となるのはDVD、CD、HDや水晶発振子、レンズコーティング、液晶、プラズマ、有機ELの各ディスプレイ、太陽電池、LED等、「CMQ－Vシリーズ」は低圧損、高速制御を特徴とし、ヘッドランプユニットの反射鏡保護膜の成膜工程に使用される低蒸気圧「HMDSO」の流量制御で、液タンク·配管の温度管理を平易化する。