マスフローコントローラ07年史上最高も08年は3日％前後減少

摘要

エレクトロニクス分野のマスフローコントローラ（MFC）の07年度の国内市場動向は、6％増、212億円と過去最高となった。 2年連続の200億円台乗せである。 主力の半導体製造装置（拡散、CVD、エッチヤーなど）向けが堅調に推移したためである。