残留ガス分析計「Quleeシリーズ」の新製品を発売次世代研究開発向け

摘要

アルバック（本社·神奈川県茅ヶ崎市萩園。 諏訪秀別社長）は、半導体製造分野で便用される残留ガス分析計／プロセスガスモニタ「Qulee（クリー）シリーズ」の新製品、「HGM－202」を発売した。2年前から販売している「Quleeシリーズ」は、電源部が分析管と一体で省スペース、電源部分に操作面と表示部を設け、パソコンを立ち上げることなく測定可能、ボタンひとつの簡単操作でリークチャックが可能などが特長で、スパッタリング装置のプロセス管理用の「CGM」、真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理用の「BGM」がある。 今年度は約600台の販売実績があり、台数ベースでの市場シェアは国内で35～40％、世界規模で12～13％と同社はしている。