WF6六弗化タングステン100t超え

摘要

六弗化タングステン（WF6）の11年需要量は前年比2％増の110tに推移したと推定される。09年は同4．6％増の90tと、10年は20％増の108tとなった。用途はシリコン半導体のCVDプロセスのタングステン、シリサイド、配線材料として利用されるが、最近ではセンサやMEMSなどでの用途開発も進んでいる。