各種高純度ガス精製装置及び精製器、新製品の排気用ゲツターポンプも

摘要

アップ·テック·ジヤパンはサ エス·ゲッターズ·グループのサエス·ピュア·ガス社の精製装置、精製器の装置納入、保守サービスを中心とする事業会社である。今回は、次世代半導体SiC （炭化ケイ素）、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の高純度化·デバイスの高性能化に貢献するゲッター式の「モノトール~R超高純度ガス精製装置」及び、LED·OLED製品の高輝度化·長寿命化に貢献する「マイクロトール~Rガスアイルター（精製器）／ファシリトール~Rガスフィルター（精製器）」を実機展示する。