液晶向けで高純度カス急成長一方で医療用は300トン割れ

摘要

亜酸化窒素の14年出荷量は対前年比3.5％増の1290トンで推移するとみられる。IGZO向けに高純度亜酸化窒素が急速に増加しているからで、牽引役は低温多結晶シリコン液晶TFTのプロセスで金属酸化物アニール処理向けである。IGZOの製造過程においては、アニール処理するのに雰囲気ガスとして大量に亜酸化窒素を使用する。