比例電磁弁を組み込んだマスフローコントローラ

摘要

ビュルケルトは電磁弁からスタートした創業65年のドイツの流体制御機器メーカー。東京（本社·台東区元浅草）と大阪に販売拠点を持つ。出展製品の「高性能マスフローコントローラ」は高分解能の比例電磁弁（汎用的なオンオフ弁ではなく、任意の開度をとることの出来る電磁弁）を組み込んだデジタル計測マスフローコントローラで、燃料電池評価装置のガス供給ライン等に採用される。