半導体、LED、PV等製造に、ステンレス素材活かした商品展開

摘要

真空チャンバーをパージする際に粒子の巻き上げを防止する高速ベントフィルターを中心に、同社の提案する『パーティクルソリューション』実現のラインナップを展示する。インラインフィルターはステンレスの他、純ニッケル、ハステロイ、PTFE等各種メディアを揃える。