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【24h】

クリーン度アップを地道に訴求

机译:不断呼吁保持清洁

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摘要

PV向けフィルター市場は、膜質の向上とともにクリーン度が要求されてくるとみて半導体で成功してきた事例を紹介する。とくに、装置の薄膜製造プロセスで粒子の巻き上げ防止措置が現在は重視されていないが同社はメーカーとディフューザーの共同評価を進めておりディフューザーの機能や効能を訴えていく。
机译:在PV滤光片市场上,我们将介绍在半导体领域取得成功的实例,考虑到清洁度和薄膜质量的提高是必需的。尤其是,在设备的薄膜制造过程中,目前尚不强调防止颗粒缠绕的措施,但是该公司正在与制造商和扩散器进行联合评估,并将吸引扩散器的功能和功效。

著录项

  • 来源
    《ガスレビユ—》 |2010年第691期|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 工业气体;
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-19 11:00:10

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