環境·安全をテーマに3つの新製品·サービスを展開

摘要

「環境」「安全」をメインテーマに新商材を加え出展する。具体的な新製品は3つあり、一つは「MOCVD装置部品洗浄事業」。装置部品の再生利用を可能にするための洗浄サービスを日本、韓国で展開していくというもの。次いで「PFC高効率処理システム」で特殊PFC吸着材を利用しPSA方式で排ガス中の窒素とPFCを分離するというもの。同じくPSAを利用してVOCと水分を分離する「VOC分離回収システム」とともに紹介する。3つ日は低環境負荷の炭化水素系新冷媒「NECOガス」　である。