液化材料対応の供給及び気化システム提案

摘要

液体材料自動供給システムNew LUはマザータンクを内蔵することでコンパクト化、安全性を強化して、既存のシステム老朽化に伴う入替需要に対応する。液化インジェクションは気化条件が厳 しい材料に対応。京都福知山テクノロジーセンターで実材料テストを行える強味である。