ウエツトプロセスによる微細加工とマイクロ·ナノ構造形成

摘要

ウェットプロセスを利用した微細加工プロセスについて，著者らの最近の検討例を中心に紹介した。 本プロセス技術は種々のデバイス·システム形成の分野での重要性が今後一層増していくと考えられるが，これまでも表面処理·薄膜形成の分野で長年用いられているものであり，プロセスに関する膨大なノウハウも蓄積されている。 したがって，それらを整理して体系化することができれば,その適用の可能性もさらに拡がっていくことが期待される。 その実現のためには，本手法の特徴をよく理解し，それが十分活かされるようなプロセスの設計がより重要になるといえる。 なおここに紹介した内容は学内外のグループとの共同研究の成果であり，関連各位に深謝する。