レーザーアブレーション法による水素フリーDLC膜の作製とその応用

摘要

ダイヤモンド状炭素（DLC）はダイヤモンドに近い硬さを有し，かつ摩擦係数も小さいことから，各種硬質皮膜の中でもトライボロジー特性に優れた材料として知られている。 DLCは化学気相成長（CVD）法のように炭化水素を原材料として用いる場合は40－60％の水素を含有するので水素化DLC，物理気相成長法で生成する水素を含有しないものを水素フリーDLCとして区別される。 水素の有無で摩擦係数に違いは生じないが，水素フリーDLCは水素化DLCに比べて2～3倍硬くなる。 DLCには，①酸，アルカリに溶解せず耐食性が高い，②凝着，焼き付きを押さえる離型性がある，③超平坦膜を成長可能なので母材の平滑性を維持でき寸法精度を確保できる，④大きな電気抵抗を有し絶縁性，などの硬質保護膜として優れた特徴を有する。