Blu-ray用レンズの測定自動化への挑戦--ZYGO干渉計オプション Auto Alignment Systemの紹介

摘要

昨年規格が統一された，新世代DVD Blu－rayドライブ光学部品の特徴として，波長：405nmの青紫色レーザーが用いられていることと，高NA（開口比）：0.85の対物レンズが用いられている事が挙げられます。これら対物レンズにはじまるBlu－rayドライブ光学部品の評価については，ドライブに採用されている実波長の計測器にて評価がされているのが一般的であり，とりわけレンズに関しては，実波長のレーザー干渉計で計測されています。 本論では，このBlu－rayドライブの対物レンズの評価方法として，実波長を光源としたZygoDVD400青紫色レーザー干渉計での透過波面計測方法と，そのオプションとして開発されたAuto Alignment Systemの概要について紹介します。