超高濃度オゾン発生装置の開発

摘要

超高濃度オゾンの利用拡大のためには、低コスト化·大流量化が必須であるが、従来、超高濃度オゾン生成は、高濃度化と大流量化がトレードオフの関係となるため両立が困難であり、濃縮オゾン供給流量を増加させるためには装置サイズを拡大する必要があった。しかし今回、当社独自の高ガス圧力·短ギャップ放電による高濃度·高効率オゾナイザおよびオゾン濃縮技術による吸着平衡時のオゾン被覆率を向上により、低コストでの濃縮オゾン高濃度化と大流量化を同時に実現した。