真空アーククリーニングにおける陰極点挙動の制御

摘要

現在、真空アーククリーニングは金属表面上の酸化膜や油膜等の除去に利用されている。 ポリエチレングリコール（PEG）の金属表面塗布により酸化膜除去速度が大きくなることがすでに知られで中る。 本報告では、変化の詳細についで調べた結果を述べる。