ソルーションプラズマによるナノ微粒子合成と界面制御

摘要

プラズマ材料科学の分野は，日本の戦後復興から現在に至るまで，日本の基幹産業を一貫して支えてきた。 例えば，鉄鋼産業，造船産業，自動車産業において溶接技術は必要不可欠であり，薄膜プロセス技術，エッチング技術は，現在の半導体·電子産業において同様の位置づけにある。 これらの技術はすべて，プラズマ材料科学の学問体系の範疇にある。 プラズマ材料科学が実用化してきたこれらの技術をプラズマ生成状態から分類すると，減圧下および大気圧下のプラズマであり，いずれも気相中で生成する状態を利用してきた。