ПОЛУЧЕНИЕ И ИЗУЧЕНИЕ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Ｔａ2Ｏ5-Ｌａ2Ｏ3

摘要

Золь-гель методом из пленкообразующих растворов получены тонкие пленки системы Ta2O5 - La2O3 в интервале концентраций La2O3 0-82 мол. %. Изучены физико-химические процессы в растворах, установлены основные стадии формирования оксид-ных покрытий, исследованы структура и свойства синтезированных пленок.