クリーンルーム運転時の哲理と清浄化指針(案)

摘要

JACA No.14Cクリーンルーム運転管理指針及びJACANo.27アクリーンルームにおける清浄化指針については、制定後10年以上が経過し、現状のクリーンルーム施設に対して適合しない点も多くあるものと考えられる。 また、ISO TC／209においては、ISO14644-5としてクリーンルームの管理方法に関する規格が制定され、クリーンル、ーム要求事項の現状に合わせた指針の必要とされている。 そこで、平成13年3月よりJACA No.14C、24、2アタリーンルーム関連3指針改正原案作成委員会の中でWG2としてクリーンルーム運車云時の管理と清浄化について審議を行ってきた。 本指針は、ISO／DIS 14644－5に基づいて、クリーンルーム運転時の管理と清浄化に関してJACANo.14C、27に含まれる内容を付加し、作成したものである。 本文と附属書A～Fにより成り立っており、項目は運転管理システム、クリーンルーム用衣服、クーノーンルーム要員、設置型設備、資財と可搬型移動設備、クリーンルームクリーニングに分けられている。 　 なお、この指針で点線の下線を施してある箇所は、ISO／DIS14644－5を変更している事項である。