クリーンルームおよび関連する制御環境気中のドーパント類の測定方法

摘要

この附属書は，クリーンルームおよび関連する制御環境空気中の分子状汚染物質（Airborne Molecular Contaminant；AMC）のうち、ドーバント類（Dopants）の測定方法について規定する。 但しりん酸エステルなどの有機りん化合物については附属書3に従うものとする。この附属書で用いる主な用語の定義は、JIS K 0211（分析化学用語（基礎部門））、JIS Z 8122（コンタミネーシヨンコントロール用語）及びJIS Z 8402（分析·試験の許容差通則）による。 ドーバント類とは、ほう酸やふっ化ほう素などのほう素化合物、りん酸エステルなどの有機りん化合物をいう。 捕集装置（インピンジャー、吸引ポンプ、流量計、その他）、誘導結合プラズマ質量分析装置