光ファイバセンサを用いた単発放電に伴い発生する圧力波の検知

摘要

加工精度を上げるために，放電に伴い発生する圧力波の計測が求められている。 そこで基礎研究として，電磁ノイズに強いとされる光ファイバセンサを用い単発放電に伴い発生する圧力波を測定した。 その結果，光ファイバセンサはPZT素子と比較して放電発生時に生じる電磁ノイズの影響を受けにくいことが判った。 さらに光ファイバセンサ信号とFEMを用いた解析結果を比較することにより，光ファイバセンサは放電現象など高速現象の解明に有効であり，圧力波の伝播に伴う加工物の変形挙動を調査できる可能性が示された。