第15回エレクトロニクス産業用ガスの安全に関する講習会開催報告

摘要

わが国の半導体産業は，1980年代に急速な発展を遂げたが，それとともに半導体工場などでの事故も増え，大規模な火災事故や爆発事故の発生も見られるようになった．半導体産業では従来の産業と異なり，超微細加工などの新規な技術を利用して種々の新規ガスを使用しており，その中には毒性や火災爆発危険性の高いものが多く含まれているため，安全工学協会（当時）の中に半導体工業用ガス研究委員会を設置してそれらの新しい材料ガスの安全に関する情報を集め安全な取扱技術に関する調査研究を行ってきた．