小径穴超音波加工に関する研究－第6報：共振周波数帯域における加工力の変動と加工速さとの関係

摘要

遊離砥粒を用いた超音波加工においては，さまざまな加工条件の変動が加工精度，加工効率などに影響を与える．本研究では，工具材として焼結ダイヤモンド(PCD)を用い，被削材として石英ガラス，ソーダガラスを用い，被削材背面に圧力センサを取り付け，加工中の加工力変化を測定した．その結果（1）すべての工具直径において，加工が始まると加工力は急激に増加し，加工深さ0.2mm付近で加工力最大を示す（2）加工中の加工力の値には周期的変動があり，加工進行期と加工停滞期の2つの状態が存在する（3）被削材貫通時の加工力は，その工具直径における最大加工力の半分かそれ以下になることがわかった．