炭化珪素砥粒の製法と活用の事例

摘要

加工用砥粒の種類は昔から知られている代表的なものに，アランダム·炭化珪素·酸化セリウム·天然エメリー·ダイヤモンド·混合砥粒などが挙げられる．この中で最近使用量がとくに増えている加工用砥粒に，炭化珪素がある．その理由は周知の通り，半導体用のシリコン単結晶インゴットの切断方法が8インチWaferの製造を機に，ブレードソー(ID-Saw)からマルチワイヤソーに変わり，同時に，加工用砥粒も固定砥粒から遊離砥粒へと大きく変革をしたためである．切断に使用される加工用砥粒には緑色炭化珪素が採用され，これにより使用数量が伸びはじめ，現在では太陽光発電のソーラパネル用のシリコンインゴット（単結晶·多結晶）の切断にも，マルチワイヤソーと緑色炭化珪素の組み合わせが採用されている．そこで，本報告においては炭化珪素の一般的製法と活用事例を中心に紹介する．