ドライ真空ポンプ用二軸同期モータの開発

摘要

半導体製造プロセスに使用されるドライ真空ポンプは小形，省エネルギーが求められている。 このドライ真空ポンプに最適な二軸同期モータを開発した。 その特徴は，ポンプロータに直結された2本のモータロータが，一つのモータステータにより同期反転してポンプを駆動する点である。2本のロータで構成されるために，モータ全長は短縮され小形化が可能になった。 またモータ特性はプラシレスDCモータの特性を活かした開発により，定格点だけでなく，広範囲に変動するドライ真空ポンプの負荷に対しても高効率になっている。本報ではこの二軸同期モータの概要について述べる。