操業を止めずにライン変更可能な構造架構－「フレキシブルな構造架構」、と「床上から対応可能なsKs嫌振床」

摘要

高度な生産装置を設置するために厳しい微振動条件や剛性条件が求められる電子デバイス工場の建物において、操業を継続しながら装置のレイアウト変更に容易に対応できる構造架構についてふたつの技術を紹介する。