Описано устройство для осаждения из сублимационного источника слоев кремния на подложках стандартной формы - дисках диаметром 52 - 100 мм. Источник кремния - монокристалл, нагретый до температуры 1300 - 1380℃, - совершает качание относительно подложки, что позволяет получать слои равномерной толщины и однородно легированные по площади подложки.
展开▼
