Приведены результаты разработки и оптимизации характеристик электроразрядного эксимерно-галогенного излучателя на смесях аргона, ксенона и хлора (Р ≤ 500 Па) с планарной рабочей апертурой (S ≤ 100 cm{sup}2). Широкополосный источник излучения работает на системе перекрывающихся между собой полос молекул ArCl{sup}*, XeCl{sup}*, (Cl{sub}2){sup}* и (Cl{sub}2){sup}** в спектральном диапазоне 170-450 нм. Средняя мощность ультрафиолетового излучения находится в пределах 15-50 Вт, коэффициент полезного действия лампы - в диапазоне 5-15%.
展开▼
