УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ И СТАБИЛИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУРЫ СТОЛИКА ПЕЧИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ПРИЕМНИКА ИОНОВ В УСКОРИТЕЛЕ ИЛУ-3

摘要

Описана принципиальная схема устройства. Предложен способ подключения термопар в вакуумной камере приемника ионов ускорителя ИЛУ-3, обеспечивающий учет температуры "холодного спая". Максимальная температура стабилизации столика печи в высокотемпературном приемнике ионов составляет 800℃, минимальная температура стабилизации зависит от режимов имплантации. Точность поддержания температуры ±3℃.