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БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ВАКУУМНО-ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС

机译：快速真空-椭圆复合物

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Описан вакуумно-эллипсометрический комплекс для изучения свойств пленок в ходе быстрого (импульсного) высокотемпературного нагрева.

机译：描述了用于在快速（脉冲）高温加热过程中研究膜的性质的真空-椭圆偏振络合物。

著录项

来源
《Приборы и техника эксперимента》 |2012年第2期|共2页
作者
В. А. Швец; С. В. Рыхлицкий; Е. В. Спесивцев; В. Ю. Прокопьев;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类仪器、仪表;
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