СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИИ КОМПЛЕКС 'ЭЛЛИПС-1771 СА'

С. В. Рыхлицкий; Е. В. Спесивцев; В. А. Швец; В. Ю. Прокопьев

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СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИИ КОМПЛЕКС 'ЭЛЛИПС-1771 СА'

机译：光谱ELLIPSOMETRIC复合物“ ELLIPS-1771 SA”

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Комплекс предназначен для проведения прецизионных измерений оптических характеристик поверхности твердого тела и жидкостей, а также контроля параметров тонких пленок и многослойных тонкопленочных структур. Комплекс является эффективным аналитическим средством при проведении исследований в следующих областях: физика и химия поверхности; физика и химия тонких пленок; физика полупроводников, микро- и наноэлектроника; кристаллофизика и оптика; химия органических соединений и электрохимия; биология и медицина и др.

机译：该复合物用于精确测量固体和液体表面的光学特性，以及监视薄膜和多层薄膜结构的参数。该配合物是在以下领域进行研究的有效分析工具：物理和表面化学;薄膜的物理和化学;半导体，微电子和纳米电子物理;晶体物理学和光学;有机化合物化学和电化学;生物学和医学等

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来源
《Приборы и техника эксперимента》 |2007年第2期|共2页
作者
С. В. Рыхлицкий; Е. В. Спесивцев; В. А. Швец; В. Ю. Прокопьев;
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正文语种 rus
中图分类仪器、仪表;
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