静電気によるトラブルとイオナイザの使用方法

摘要

近年は装置の高速化、半導体デバイスの高密度化が進み、静電気のトラブルがクローズアップされている。 本稿において、有効な除電を行うために、静電気によるトラブルの内容と有効な除電方法について紹介する。