パワーエレクトロニクス用基板の開発動向と加工技術課題

摘要

機能の集積化がますます進む電子装置·システムは，電力の直並列多段変換ネットワークを使った本格的なPOLによるエネルギーマネジメントのもとで，自律分散協調しながら運用される。つまり，グリーンエレクトロニクス時代においては，いたるところに存在を感じさせないユビキタスな電源，変換器（PE機器）群が導入されている。本稿では，この無数のPE機器群を支える基板（ウェハ）技術について触れる。