空気圧編(10)：無潤滑機器の使用法－圧縮空気の清浄化と無潤滑機器

摘要

半導体·液晶製造装置、電子·精密機械、医療関係、食品関係などの装置に使用される空気圧機器は、電磁弁からの排出空気、またゴミの吹き飛ばし、乾燥、等エアブローに使われる空気中に含まれる油分（オイルミスト）が製造ラインの環境上の問題となる。 このオイルミストは、①コンプレッサで圧縮し高温空気により潤滑油がオイルミストになったもの。 ②アクチュエータの潤滑のためにルブリケータから給油されたもの。 ③空気圧機器の可動部に、初期的に塗布された潤滑油等が排出空気中に含まれるもの。であり、この対策として油分を除去した空気の使用、無潤滑機器（禁油処理機器）の使用が必要となる。