マイクロ非球面金型の超精密研磨技術

摘要

近年のIT産業の発展に伴い，デジタルカメラやDVDのピックアップなどに用いられるマイクロガラスレンズのニーズが増大しており，さらに高精度化，小型化が求められている。 これらの光学ガラスレンズは，超硬合金やSiCなどのセラミック金型を用いたプレス成形により量産が行なわれている。 プレス成形では金型の表面形状がレンズにそのまま転写されるため，高精度なレンズの生産には，金型に対して切削や研削により前加工を行なった後，仕上げ加工として超精密研磨加工による形状精度および表面粗さの向上が不可欠である。 本稿では，これらの非球面金型の超精密研磨について述べる。