現場で使いこなす非接触計測技術：非接触形状計測法の原理

摘要

非接触形状計測には多くの方式があるがそれぞれ一長一短で特長をよく理解して適切な方法を選ばなければなかなか満足できる結果が得られない。 本稿では主な非接触計測手法について紹介し，それぞれの特長を簡単にまとめる。 また，プローブを対象表面に極端に近付けて測定する方法，たとえば静電容量式や空気流の抵抗を検出する方式，さらに走査トンネル顕微鏡などは使用者の立場から見ると接触式に近い使い勝手になるため本稿では取り上げないことにする。