ニーズに応える超精密加工機と活用技術：超精密部品加工機とそノ使い方

摘要

小形，高機能，大記憶容量，高品位，コストダウン，垂直立ち上げと目まぐるしい商品サイクル製品群の時代の流れの中で，どこよりも早く，高機能で安価な商品を市場に出すべく，より高精度·微細·高能率化する「ものづくり」要求が多くなってきている。 今まではエッチング，放電などの電解に依存していた製品が，高精度·微細·高能率短納期な切削（研削）加工に移行されるようになってきた。 このような流れの中で，微細加工機としての高生産·高精度を追及した機械加工のうち，nm（ナノメートル）の一歩手前のμm（マイクロメータ）を実現した機械が，リニアモータ駆動超精密微細加工機「NANO-21」である（図1，表1）。