工作機械：位置決め精度0.5nmのナノ加工機

摘要

ソディックは、位置決め精度0.5nm、形状精度2-3nmを実現した超精密微細高精度ナノ加工機「Ultra NANO-100（ウルトラナノ－100）」を開発した。 同機では、従来まで困難とされていた脆性材料や複雑形状などへの加工性能、5軸構成がもたらす多彩な加工方法への機能拡張など総合的な機能·性能を強化。 さらに「セラミックス製による高剛性空気静圧軸受け」、「コアレス式リニアモータ駆動」、「NC装置」、「モーションコントローラ」など同社独自の技術を加えることで、ナノ領域の要求精度に応えることが可能だ。