Газочувствительные полупроводниковые пленки для датчиков газов

摘要

Рассмотрены технология изготовления, оптические, электрофизические и газочувствительные свойства пленок SnO{sub}2. Установлен механизм изменения электросопротивления пленок в интервале температур 20-400℃. Измерены статические и динамические характеристики газовой чувствительности пленок SnO{sub}2 к парам ацетона, этанола и изопропилового спирта. Показана перспективность применения пленок SnO{sub}2, изготовленных методом реактивного магнетронного напыления, для газовых сенсоров.