往復動型無脈動定量ポンプの更なる脈動低減

摘要

脈動はバッチでの混合のように滞留する場合では問題がなくても、塗布や比例注入のように一過性の場合には問題となる。 アキュムレータやエアチャンバーのような脈動減衰装置を用いて脈動の低減を図る方法もあるが、流量や圧力の変化に対する遅れがあるため微細な脈動が問題になる場合には無脈動ポンプが使用される。