ドイツ技術通信：(2)リニア駆動のための磁気測定方法と光学測定方法の比較

摘要

リニア軸，リニアモータおよび移動ユニットの位置決めにはミクロン単位の正確な測定結果が要求される．求められる精度が達成されるか否かは，選ばれた測定方法の質に依存する．光学測定システムは，これまでその位置決めにおける正確さと再現性においてもっとも高い評価を得てきた．磁気測定システムは，新しい技術的発展により高精密応用に使用されるようになっている．本稿では，磁気および光学による長さ測定における長所と短所，また，新しく開発された精度が±5μm／mの磁気測定システム（図）を紹介する．