超短パルスレーザによる精密微細加工技術

摘要

超短パルスレーザを用いたレーザアブレーション加工は、工具摩耗がなく工具形状に縛られない加工自由度が期待できるだけでなく、周囲への熱影響を回避することで、従来のレーザ加工では難しかった微細かつ精密な形状を創成できる可能性がある。当社では、このような非熱的なレーザアブレーション技術の特長に着目し、レーザ微細加工技術の開発および装置の販売を行っている。本稿では、当社が開発したレーザ微細加工装置の概要と加工例を紹介する。