ナノ多結晶ダイヤモンドの特徴と超精密·微細加工工具への応用

摘要

本稿では、ナノ多結晶ダイヤモンドの優れた特性と切削工具としての性能を総括し、超精密·微細切削加工の事例を紹介する。なお、本稿ではこのナノ多結晶ダイヤモンドをNPD、単結晶ダイヤモンドをSCD、従来の結合材を含む焼結ダイヤモンドをPCDと呼ぶ。