超音波振動による超精密·微細加工の実用化技術をさぐる：放電加工における超音波キャビテーション効果

摘要

本稿では、液中に超音波振動を付与したときに生じるキャビテーションを利用した放電加工のうち、微細電極による穴あけ加工と形彫り加工について超音波援用の効果を通常加工と比較しながら述べた。本効果は加工液を利用するほかの加工法、例えば、ドリルやエンドミルを用いた機械加工、ダイヤモンド電着工具を用いた研削加工にも図8加工穴の拡大像および各断面の半径値（mm）応用が可能であり、切りくずの排出や潤滑性および冷却性の向上に寄与すると考えられる。