高精密加工に対応するバリ取り技術：II. 微細バリ対策事例 マイクロブラスト工法

摘要

乾式および湿式のブラスト加工に代表される噴射加工技術は従来から，バリ取り，表面粗し，洗浄のように比較的ラフな仕上げ加工に用いられてきた．しかしながら，乾式では，環境負荷の低いドライな加工であることや生産性が高いなどの利点から，自動車，航空機，油空圧，電気機器などのパーツとして加工された部品の表面処理技術，および半導体，電子部品，フラットパネルディスプレイなどに使用される部材の加工技術として幅広く活用されており，近年，とみに関心が高まっている．他方，各産業界においても従来の工法では処理の困難であった微小バリ取りのニーズも増加の傾向にある．ここでは，乾式の噴射加工技術をさらに進歩させた高精度微細加工であるマイクロブラスト工法の概要と，当工法の特徴である微細砥粒による微小バリ取り,仕上げ技術，およびその事例について報告する．