大型加工物の高精度化を保証するインプロセス／オンマシン計測技術の最新動向

摘要

加工機では、基本的に工具の運動および形状が加工物に転写され加工製品が作られる。この時、工具の運動誤差は加工物の形状にそのまま転写されることになる。また、加工物の形状を評価する場合にも測定機走査の運動誤差がそのまま計測結果に誤差として含まれることになる。特に、加工物が大型化すると運動誤差の影響は顕著となるため、工具の運動誤差を分離して評価する必要がある。本稿では、衛星用大型ミラー、および大型円筒加工物の形状計測を実例としてあげ、知的計測手法で運動の誤差を分離し、加工現場において大型加工物を迅速、高精度にインプロセス／オンマシン計測するための研究例を示す。