ウォータージェット＋レーザ加工機付き超精密クールレーザ加工機

摘要

当社のウォータージェット技術は、洗浄·バリ取り·剥離·はつり·切断、さらには液体同士を衝突させる微粒化など、その応用は多岐にわたっている。一方、産業界における加工技術のニーズは比較的大物の加工からマイクロマシンのような微細加工のほか、セラミックスやダイヤモンドなどの特殊材料の加工にまで広がってきている。さらに、その加工精度においてはナノレベルを要求されつつある。そこで当社では微細·精密加工へ対応できるウォータージェットの新しい応用として、高圧水流の中にレーザ光を導入して加工を行う「ウォータービームマシン(WbM)」を開発·商品化した（図1）。