超微細形状·精密加工を支援するオンマシン·ナノ計測技術の開発動向

摘要

近年になって、オンマシン計測技術の開発が急速に活発になってきている。 特に、オンマシン·ナノ計測の有効性を示す実験データが得られ、加工精度補償技術としてオンマシン·ナノ計測が優れていることが再認識されはじめている。 本稿では、オンマシン·ナノ計測への適用を考慮したナノ表面微細形状計測技術、ナノ3次元形状計測技術、マイクロ工具計測技術の開発について紹介するとともに、最後に問題点と課題についてまとめる。